01
RPS Repair
Insitu CVD Chamber Cleaning 관련, Remote Plasma Source 수리
PRODUCTS
제품·서비스
회사소개 자료에 수록된 실제 제품 사진을 제품 및 서비스 항목별로 정돈하여 소개합니다.
02
O3 Generator
SACVD 및 확산 공정용 200mm / 300mm Series 수리 서비스
03
RF Generator
반도체제조장비용 RF Generator 수리 대응.
04
Revolution III / Revolution V
산소 및 질소 Radical Generator 수리 서비스
05
다양한 타입의 Valve 수리
APC, Slit, Gate, Angle Valve 등 다양한 타입의 Valve 수리 서비스
06
E-Saver
Dry Pump의 전력 절감을 목적으로 한 에너지 절감 솔루션.
제품 정보 안내
홈페이지에는 주요 내용을 요약하여 게재합니다. 상세 사양, 대응 모델, 재고 및 수리 가능 여부는 별도로 문의해 주세요.