01
RPS Repair
Insitu CVD Chamber Cleaning関連、Remote Plasma Source 修理
PRODUCTS
取扱製品
会社紹介資料に掲載している実際の製品写真を、製品ごとに整理して掲載しています。
02
O3 Generator 修理
SACVD & 拡散工程向け200mm / 300mm Seriesの修理対応。
03
RF 電源
半導体装置向けRF電源の修理対応。
04
Revolution III / Revolution V
酸素と窒素Radical Generatorの修理対応。
05
各種Valve類 修理
APC、Slit、Gate、Angle Valveなど各種Valve修理。
06
E-Saver
Dry Pumpの省エネを目的とした関連ソリューション。
掲載内容について
公開版では概要のみ掲載しています。詳細仕様、対応機種、在庫・修理可否についてはお問い合わせください。